发布时间:2023-10-30 来源:网络
DLC薄膜的制备方法:利用化学气相沉积制备的DLC薄膜膜层致密,和基体结合力好。某些特殊薄膜还具有特异的光学、点穴和热血等各种物理和化学性能,这类膜层表现出许多优点,包括膜厚比较均匀,膜层质量稳定,绕镀性好且易于实现批量生产,因此得到了广泛应用。从沉积条件看,要实现气体与基体界面的化学反应,在沉积反应过程中必须有一定的开启能。按照开启方式的不同,可以分为热丝化学气相沉积(HFCVD)、直接光化学气相沉积(DPCVD)和等离子体增强化学气相沉积(PECVD)等几种方式。
采用ECR-PECVD技术制备DLC薄膜时,不同过程参数对沉积DLC中sp3/sp2键比例影响的重要性次序为:微波功率气体流量比基底偏压沉积室压强。其中sp3/sp2随着微波功率的增大而减少;随着C2H2/Ar中Ar分量的增大而增大;随着基底偏压的增加而略为增加;随着沉积室压强的增加而略为降低。ECR-PECVD技术中不同过程参数对沉积DLC中氢含量影响的重要性次序为:基底偏压气体流量比沉积室压强微波功率。其中氢含量随微波功率增大而增大;随着真空室压强的增大而增大;随着C2H2/Ar中Ar分量的增大而增大;但是随着基底偏压的增加,DLC中氢含量逐渐减少。上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点。可以解决PVD涂层镀不到的工件内孔的问题。公司涂层已经应用于航空机械模具电子医疗汽车发动机部件等领域。 温州纳米类金刚石多少钱类金刚石涂层(DLC)钻头较小。
传统硬质合金刀具铣削碳纤维复合材料(CFRP)时磨损严重,需在其上沉积金刚石薄膜涂层.在相同的硬质合金立铣刀基体上,改变沉积工艺,获得3种分别覆有粗晶、细晶和复合晶等不同CVD金刚石薄膜的刀具.用扫描电镜观察分析3种涂层的表面形貌.在相同条件下,用3种刀具切削CFRP并分析其刀具磨损机理.结果表明:复合晶工艺的金刚石涂层硬质合金立铣刀耐磨性比较好、使用寿命较长,约为粗晶金刚石涂层铣刀的、细晶金刚石涂层铣刀的膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点。可以解决PVD涂层镀不到的工件内孔的问题。公司涂层已经应用于航空机械模具电子医疗汽车发动机部件等领域。
分别以氩气-甲烷、氩气-乙炔为辅助气体,高纯石墨为靶材,利用中频脉冲非平衡磁控溅射技术制备了类金刚石薄膜.采用Raman光谱、X射线光电子能谱、纳米压痕测试仪、表面形貌进行了分析.Raman光谱和X射线光电子能谱测试结果表明,以氩气-甲烷为辅助气体制备的类金刚石薄膜中sp3杂化键的含量比以氩气-乙炔为辅助气体制备的类金刚石薄膜的高.纳米压痕测试结果表明,以氩气-甲烷为辅助气体制备的类金刚石薄膜的纳米硬度比以氩气-乙炔为辅助气体的高.原子力显微镜测试结果表明,以氩气-甲烷为辅助气体制备的类金刚石薄膜的RMS表面粗糙度比以氩气-乙炔为辅助气体的低.以上结果说明辅助气体组成对类金刚石薄膜的键结构、EMC易倍体育 易倍EMC机械性能、表面形貌有较大的影响.上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点。可以解决PVD涂层镀不到的工件内孔的问题。公司涂层已经应用于航空机械模具电子医疗汽车发动机部件等领域。 如何提高电镀金刚石线锯的切割效率,延长其使用寿命?
随着现代科学技术的不断进步,普通硬质涂层和超硬涂层有了明显的发展,部分涂层已经在某些领域实现了应用。主要介绍了氮化物、碳化物、EMC易倍体育 易倍EMC氧化物、硼化物等普通硬质涂层和金刚石、类金刚石(DLC)、cBN、纳米多层结构涂层及纳米复合涂层等超硬涂层的性能、应用、制备技术及其发展趋势,并对部分常见涂层面临的性能改进及其今后可能的发展方向进行了探讨。上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点。可以解决PVD涂层镀不到的工件内孔的问题。公司涂层已经应用于航空机械模具电子医疗汽车发动机部件等领域。 类金刚石(DLC)膜涂层刀具的硬度高、摩擦系数低、耐摩擦和耐腐蚀性能强、抗粘结性能好。冲压模类金刚石价格
在一台yBHИПA-1型双激发源等离子弧薄膜沉积装置上制取Ti合金化DLC膜,用纳米硬度计、显微硬度计、原子力显微镜以及X射线衍射仪和光电子能谱仪等手段对薄膜的力学性能和结构进行了分析和测定.摩擦磨损试验在一台球-盘滑动磨损试验机上进行.比较了不同钛合金化程度的DLC膜及热处理前后的性能变化.结果表明,薄膜的力学性能与Ti含量有非单值关系,但摩擦系数随Ti含量增加而升高;热处理后薄膜显微硬度有名升高的原因是生成了碳化钛硬化相.上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点。可以解决PVD涂层镀不到的工件内孔的问题。公司涂层已经应用于航空机械模具电子医疗汽车发动机部件等领域。 温州纳米类金刚石多少钱
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